近日，由可迪尔为某高端半导体装备公司量身定制的废气治理项目顺利完成验收并投入使用。一起来看~

高端制造背后的环保挑战

业主不仅是拥有核心自主知识产权的高端半导体装备制造商，还是我国在12英寸大生产线上实现CMP设备大规模量产的企业，其产品覆盖CMP装备、减薄装备、划切装备等关键设备，广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、MEMS及Micro LED等前沿制造领域。

然而，在高端半导体装备的精密制造过程中，难以避免产生成分复杂的有机废气与酸碱废气。这些废气若未经有效处理，不仅影响车间空气质量与员工健康，更可能对环境造成影响。因此，构建一套契合环保排放标准、匹配实际生产需求的半导体装备公司废气治理方案，成为企业绿色发展的关键环节。

定制化半导体装备公司废气治理方案：精准、高效、可靠

针对业主复杂的废气类型与差异化的处理需求，可迪尔以“分质分类、精准治理”为原则，设计并实施了三套废气治理系统，形成了完整的半导体装备公司废气治理闭环解决方案：

半导体装备公司废气治理—酸性废气治理系统

处理风量：20,000m³/h

主要成分：酸性气体

处理工艺：采用高效酸洗废气处理塔，通过中和反应实现酸性物质的安全转化与达标排放。

半导体装备公司废气治理—有机废气治理系统

处理风量：20,000m³/h

主要成分：IPA、丙酮、PGMEA、PGME、NMP

处理工艺：采用两套活性炭吸附系统（一用一备），确保连续运行与高效吸附，实现VOCs的稳定去除。

半导体装备公司废气治理—碱性废气治理系统

处理风量：30,000m³/h

主要成分：碱性气体

处理工艺：通过碱洗废气处理塔进行中和吸收，有效控制碱性物质排放。

半导体装备公司废气治理系统优势与项目价值

全流程闭环管理：从废气收集、分类输送至净化处理，实现全过程管控，杜绝二次污染。

“一用一备”设计：在有机废气处理系统中设置备用单元，保障生产连续性，增强系统可靠性。

高度契合生产实际：系统设计紧密结合业主生产工艺与废气产生特点，确保治理效率与生产节奏相匹配。

作为专业的半导体装备公司废气治理方案提供者，可迪尔通过本次项目的成功实施，不仅助力业主落实国家及地方环保政策要求，更提升了其在高端制造领域的绿色形象与可持续发展能力。