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半导体废气治理方案丨可迪尔助力浙江海宁某半导体企业实现达标排放
发布者: 发布时间:2025-05-16


半导体行业:技术进步如何重塑人类生活

半导体技术被誉为现代工业的“心脏”,其发展深刻改变了人类的生活方式。从智能手机、人工智能到新能源汽车、远程医疗,芯片的精密制造支撑着数字社会的运转。然而,半导体制造的繁荣背后隐藏着严峻的环境挑战——每片芯片的诞生,都伴随着大量有机废气的排放。


芯片在生活中的使用.jpg

半导体废气治理方案为何刻不容缓?

半导体制造工艺复杂,光刻、蚀刻、清洗等环节使用的化学品(如丙酮、异丙醇、NMP等)会产生大量挥发性有机物、酸性气体及颗粒物。


蚀刻.jpg


以浙江海宁某半导体企业为例:其车间原始废气风量达50000m³/h,浓度500mg/m³,若放任排放,年VOCs释放量将超过200吨,相当于数百辆汽车全年尾气排放的总和。这些废气若未经处理直接排放,对环境与健康都存在潜在威胁。业主为了履行社会责任,改善车间环境,决定委托可迪尔设计半导体废气治理方案。


可迪尔半导体废气治理方案:技术与效益的双重突破

可迪尔根据业主的需求,针对半导体行业废气大风量低浓度、成分复杂的特点,可迪尔设计了沸石转轮+TO的定制化治理方案,最终成功实现绿色达标排放。

半导体废气治理方案核心优势解析

沸石转轮:精准捕获复杂VOCs

采用疏水性沸石分子筛,针对丙酮、乙酸乙酯、异丙醇等极性物质优化吸附效率,将废气浓缩15倍,大幅降低后续处理能耗。

TO:高效分解与节能并重

浓缩后的高浓度废气在750℃高温下彻底氧化分解,净化效率达99%以上。TO炉通过蓄热陶瓷回收95%热能,相比传统工艺节省40%天然气消耗,年运行成本降低超百万元。


沸石转轮+to.jpg

半导体废气治理方案:从个案到标杆的跨越

本次项目通过第三方检测,非甲烷总烃排放浓度≤20mg/m³,满足天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(按照最高标准),设备稳定运行,成为了半导体行业废气治理的示范案例。


fengmian(带水印).jpg

 技术创新需与产业需求深度结合

半导体行业的技术跃进不应以环境透支为代价。可迪尔的实践表明,通过科学设计、技术创新与精细化运营,环保治理不仅能满足法规要求,还可转化为企业的核心竞争力。未来,唯有将可持续发展理念融入芯片制造的每一道工序,才能真正实现科技向善的愿景。





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