近年来，随着人工智能、物联网、5G与智能驾驶等新应用的爆发，全球半导体产业持续增长，给社会带来的经济效益及就业率有目共睹，但随之而来对环境的影响也不容忽视。

半导体产业的废气来源？

主要来源于芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中。这些废气主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。此类污染物排入大气会造成环境污染，同时也会对工厂周围居民身体健康造成影响。因此，需要对半导体行业VOCs废气进行净化处理后达到排放要求。

今天我们给大家分享一下可迪尔在安徽的项目案例，一起来看可迪尔是如何治理半导体行业产生的废气的。

新型电子企业的环保使命

在安徽省芜湖市，有一家专业研发、生产、加工及销售的半导体企业。在进行光刻、刻蚀、沉积等工艺时，要随时进行清洗以维持晶圆表面的高度洁净，在清洗过程中挥发大量有机废气。为了积极响应国家节能减排要求，为员工创造良好工作环境，业主新增报半导体废气处理系统以保证达标排放。

半导体废气处理系统参数

半导体废气处理系统风量：20000m³/h

半导体废气处理系统浓度：300mg/m³

半导体废气处理系统废气成分：丙酮、石脑油

可迪尔技术人员根据现场勘察，以及多年的废气治理经验，为业主量身打造了设计方案。

半导体废气处理系统设计方案

半导体废气处理系统治理工艺：前处理+沸石转轮+TO

半导体废气处理系统浓缩倍数：18倍

半导体废气处理系统工艺路线

废气经前处理去除大颗粒有机物后送至沸石转轮，废气中的VOCs被沸石吸附后达标排放至大气中，利用180℃热空气将VOCs从沸石中脱附出来，再由TO风机输送至TO炉中，被氧化成CO₂和H₂O，达标排放至大气中，沸石得到再生，可循环使用。

半导体废气处理系统项目验收

经第三方检测，经可迪尔提供的半导体处理系统处理后的非甲烷总烃≤20mg/m³，符合国家及当地排放要求。