半导体产业作为现代科技的心脏，其每一步发展都离不开精密的材料与严苛的工艺。而在这一领域中，砷烷、磷烷是半导体、 LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料。而砷烷属于易燃易爆剧毒气体，爆炸极限为4.5%~100%VOL，泄漏积聚到空气中的砷烷气体浓度处于此范围内时，遇明火、电弧、火花、高温等就会发生爆炸。

今天跟随可迪尔一起揭秘砷磷烷吸附塔是如何高效治理半导体生产中的特殊气体的！

砷磷烷吸附塔项目背景

在厦门有一家专业从事高端LED芯片、先进化合物半导体器件及第三代半导体芯片的高新技术企业，生产过程中使用磷烷和砷烷做为关键材料。在制造过程中，砷烷、磷烷常被用作重要的掺杂气体，如何安全使用这些特殊气体，防止泄漏对环境和人员造成伤害，成为了业主必须解决的难题。

砷磷烷吸附塔项目案例

针对业主事故排的安全需求，我公司技术人员去现场进行了实地考察，最终采用砷磷烷吸附塔进行处理，系统与房间侦测器联动，砷烷、磷烷发生泄漏时自动开启事故排风模式，经砷磷烷吸附塔有效处理后达标排放，砷磷烷吸附塔的吸附效率大于90%，气体排放浓度≤1mg/m³，符合上海市《大气污染综合排放标准（征求意见稿）》（DB31/933-2023）。

什么是砷磷烷吸附塔？

砷磷烷吸附塔是专门针对半导体掺杂制程工序中产生的砷烷、磷烷、四氟化碳等有毒废气设计的治理设备。该设备利用化学反应、复分解反应等基本原理，与废气中的有害物质发生化学反应，生成无毒无害的化合物或复合物。这些化合物或复合物还可直接用于修路、垃圾填埋等，实现了废气的资源化利用，避免了二次污染。

每一次项目的成功实施，都是对可迪尔技术的挑战。未来，可迪尔将继续携手更多合作伙伴，共同探索绿色发展的新路径，为构建更加安全、可持续的科技生态贡献企业力量。